膜厚量測

★橢偏儀專用光譜儀★
 

◆解決方案1. 雙光譜儀系統：寬廣全光譜(紫外至近紅外光)解決方案
客戶可選擇兩台光譜儀，量測波段分別爲180-1100 nm和950-1700 nm，再搭配OtO客制化之雙光譜儀系統，即可輕鬆擁有180-1700 nm的波段範圍和高光學分辨率，突破單一光譜儀量測的限制，適合需紫外至近紅外波段範圍的量測應用，如：橢偏儀。




◆解決方案2. 消雜散光演算法
OtO開發的「消雜散光演算法」，適用於低穿透率、低反射率、高吸收度、量測光源偏弱、曝光時間極短的量測情境，經演算法校正後雜散光可降至0.01%。

消雜散光演算法對穿透率量測的貢獻