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快速掌握光譜儀:專業術語精闢解析
台灣超微光學 OtO otophotonics
- 光譜儀術語涵蓋解析度、訊噪比、動態範圍等核心概念,校正流程包含背景校正、線性校正、波長校正等步驟,確保量測準確。其他選配如強度校正與雜散光修正,進一步最佳化效能,為多領域應用提供精確支援。
光學解析度/分辨率
- 光譜儀的解析度 (Resolution) 以半高寬 (Full Width at Half Maximum, FWHM) 表示,亦即波峰最大值一半的波長差,單位為奈米 (nm)。解析度受以下因素影響:
波段範圍
光柵刻線密度
狹縫寬度
感測器像素數量
- 有時,解析度亦以每像素對應的波段範圍 (nm/pixels) 表示。例如:若波段範圍為 350~1020 nm,狹縫為 25 µm,像素數為 2048 pixels,則 FWHM 為 1.2 nm,每像素對應波段範圍為 0.3 nm/pixels。
▶ 光學解析度/分辨率
雜散光
- 台灣超微光學的雜散光 (Stray Light) 比例是以 R60 高通濾波片遮擋鹵素燈,
並觀察 450 nm 的雜光信號來定義。
▶ 雜散光
暗雜訊/暗噪聲
- 光譜儀暗雜訊 (Dark Noise) 的主要來源有:
- 光源穩定性
- 電子噪聲
- CCD 傳感器噪聲
- 暗雜訊的定義是在全黑環境下,1 ms 積分時間內的電壓輸出 (Vout RMS)。
- 暗雜訊高低取決於電子讀出噪聲及 CCD 傳感器本身。
信雜比/信噪比
- 光譜儀信雜比 (SNR) 為最大信號 (65535) 除以 RMS 值。信雜比越大,表示讀出信號越穩定,且更易分辨低信號中的差異性。
曝光時間/積分時間
- 曝光時間/積分時間 (Integration Time) 指收集光學信號產生光譜圖所需的時間。積分時間越長,信號越強,可改善信雜比 (SNR)。時間範圍通常為 1 ms~65 sec,最短積分時間 (<1 ms) 取決於 CCD/CMOS 傳感器的特性。
動態範圍
- 動態範圍 (Dynamic Range) 表示最大光強度與最小光強度的比值。
熱穩定性
- 熱穩定性 (Thermal Stability) 指光譜儀在不同溫度 (-10 ~ +50℃) 下,因熱脹冷縮引起的波長漂移值,單位為 nm/℃ 或 nm。
▶ 熱穩定性
觸發模式
- OtO 光譜儀配備 I/O 接口,支持觸發模式 (Trigger Mode)。通過觸發模式,用戶可利用外部 I/O 信號觸發光譜儀進行數據采集,從而在同一時間同步觸發多臺光譜儀進行采集,避免因計算機性能差異導致的時間不同步,確保多設備同步執行采集任務。
▶ 觸發模式
信號多次平均法
- 信號多次平均法 (Signal Averaging) 能真實降低每像素的噪聲。取樣次數越多,平均信號效果越好,但采集時間也會相應增加。在時間坐標圖光譜上,信噪比 (SNR) 會按取樣數的平方根倍數增加。例如,平均取樣數為 100 時,SNR 增加 10 倍。
Boxcar Filter
- 通過對鄰近采樣點取平均值,可平滑信號曲線,但會降低光學分辨率。如果需要精確峰值信號,不建議使用該方法。
電子暗值校正
- OtO 光譜儀啟動時,主電路板和 CCD 會產生暗電流,即無光源進入時的基本電流值。暗電流經 ADC 轉換後形成基礎測量值 (count)。OtO 出廠時校正了暗電流值 (約 1000),並將修正參數儲存於光譜儀內。使用 SpectraSmart 軟件啟用電子暗值校正 (Electronic Dark Correction) 功能後,可動態扣除暗電流影響,從而提升測量準確性。
▶ 電子暗值校正
線性度校正
- 光譜儀 CCD 對不同光強的響應並非完全線性,每臺設備的響應曲線也各不相同。OtO 光譜儀在出廠前會進行線性度校正 (Linearity Correction),並儲存修正表。通過 SpectraSmart 軟件啟用線性度修正功能,可在 0~65535 範圍內校正每像素數據,確保測量結果的精確性。
▶ 線性度校正
強度校正(非默認,可選配)
- CCD 對光源強度和波長的響應並不完全一致。OtO 光譜儀出廠時會以臺灣工研院 (ITRI) 標準燈源進行強度校正 (Intensity Correction),並儲存修正表,用以修正波長響應和絕對光源強度 (350 nm~900 nm)。若需與用戶自有系統結合,可重新建立強度修正表,以確保測量精度。
▶ 強度校正(非默認,可選配)
光譜儀校正程序
01
背景校正
扣除光譜儀的電子噪聲
02
線性度校正
修正光譜儀在其強度範圍內對光響應的非線性關係,校正光譜儀的響應強度與曝光時間成正比 linearized output 為 CPS,強度與曝光時間相除的比值,若每個強度的 IPS 都是代表成正比,線性度 99.97% 再由 Residual 算出。
03
波長校正
以標準 Hg-Ar-Xe 燈,校正光譜儀波長點至正確位置,以 7 階多項式做擬合。
04
解析度檢測
以標準 Hg-Ar-Xe 燈,檢測光譜儀波長 peak 的 FWHM。
05
Dark noise 偵測
未進光下,檢測 sensor 原生 noise 跳動之 STD & AVG
06
SNR 偵測
光強度至最高下,偵測光譜儀 SNR 有沒有在正常值
07
Stray Light 偵測
以 600LPF 截斷光譜,檢測 350–450nm 間的 Stray Light 有無在正常值內
其他可加購的校正如下:
08
標準光源強度校正修正
修正感測器在每個像素對光強度響應的差異
09
雜散光校正修正
修正光反射、繞射、折射所造成的測量影響
2025-07-09